多晶硅生产系统热量转换工艺分析

裴蕾, 段超, 孙强, 张征, 张晓伟, 陈辉

现代化工 ›› 2020, Vol. 40 ›› Issue (S1) : 257-259.

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现代化工 ›› 2020, Vol. 40 ›› Issue (S1) : 257-259. DOI: 10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2020.S.057
工业技术

多晶硅生产系统热量转换工艺分析

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Analysis on heat recycling process in polysilicon production system

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