一种多晶硅质量下滑原因的分析方法
李东升, 陈峰, 吴锋, 姜海明, 杨媛丽
An analysis method for reason causing polysilicon quality to drop
LI Dong-sheng, CHEN Feng, WU Feng, JIANG Hai-ming, YANG Yuan-li
现代化工 . 2019, (S1): 160 -163 .  DOI: 10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2019.S.036

京ICP备09035943号-37
版权所有 © 《现代化工》编辑部
地址：北京市朝阳区安定路33号化信大厦B座206　
邮编：100029　
电话：010-64444090　
E-mail：mci@cncic.cn
技术支持：北京玛格泰克科技发展有限公司