多晶硅薄膜材料制备技术研究进展

多晶硅薄膜材料制备技术研究进展

李嘉, 焦玉娟, 周正扬, 高肖汉, 吕雪川, 范志平

现代化工 ›› 2015, Vol. 35 ›› Issue (5) : 25-29.

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现代化工 ›› 2015, Vol. 35 ›› Issue (5) : 25-29.

多晶硅薄膜材料制备技术研究进展

{{article.zuoZhe_CN}}

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{{article.keyPoints_en}}

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{{article.zhaiyao_cn}}

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{{article.zhaiyao_en}}

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2015, 35(5): 25-29

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