含氟电子气体六氟乙烷的产业技术现状与国产化替代思考

张金柯, 刘圣慧, 王士财, 彭勇, 王永江, 刘武灿, 张建君

现代化工 ›› 2024, Vol. 44 ›› Issue (5) : 21-26.

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现代化工 ›› 2024, Vol. 44 ›› Issue (5) : 21-26. DOI: 10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2024.05.005
技术进展

含氟电子气体六氟乙烷的产业技术现状与国产化替代思考

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Commercial production technology status of hexafluoroethane and considerations for its localization in China

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