4H-SiC衬底电化学氧化行为研究

徐泽栋, 孙文, 刘贵昌, 王立达

现代化工 ›› 2023, Vol. 43 ›› Issue (S2) : 192-196.

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现代化工 ›› 2023, Vol. 43 ›› Issue (S2) : 192-196. DOI: 10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2023.S2.038
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4H-SiC衬底电化学氧化行为研究

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Study on electrochemical oxidation behaviors of 4H-SiC substrate

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