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现代化工  2021, Vol. 41 Issue (7): 231-233    DOI: 10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2021.07.047
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金属烧结滤芯用于多晶硅氯硅烷净化放大研究
刘见华1,2,3, 万烨1,2,3, 赵雄1,2,3, 赵宇1,3, 周勇毅1,3, 严大洲1,2,3
1. 洛阳中硅高科技有限公司, 河南 洛阳 471000;
2. 中国恩菲工程技术有限公司, 北京 100038;
3. 多晶硅制备技术国家工程实验室, 河南 洛阳 471000
Pilot study on metal sintered filter element for purifying chlorosilane in polysilicon production
LIU Jian-hua1,2,3, WAN Ye1,2,3, ZHAO Xiong1,2,3, ZHAO Yu1,3, ZHOU Yong-yi1,3, YAN Da-zhou1,2,3
1. China Silicon Corporation Ltd., Luoyang 471000, China;
2. China ENFI Engineering Corporation, Beijing 100038, China;
3. National Engineering Laboratory of Polysilicon Manufacturing Technology, Luoyang 471000, China
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摘要 采用金属粉末烧结滤芯对多晶硅制备干法回收工序的氯硅烷进行中试净化研究,在相同过滤精度和面积下,对比处理量对初始过滤压降和不同滤饼剥离方式对剥离率的影响。结果表明,当原料颗粒浓度为235 g/m3、采用液相反冲滤饼剥离方式时,出口颗粒平均浓度为2.1 g/m3,过滤效率为99.1%。
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刘见华
万烨
赵雄
赵宇
周勇毅
严大洲
关键词:  金属烧结滤芯  氯硅烷  过滤  多晶硅    
Abstract: Metal powder sintered filter element is utilized to perform pilot study on purification of chlorosilane in dry recovery section of polysilicon production.Under the same filtration precision and area,the influence of treatment amount on initial filter pressure drop is compared with the influence of different stripping method for filter cake on the stripping rate.Results show that outlet dust concentration is 2.1 g·m-3 and filtration efficiency is 99.1% when the entrance dust concentration is 235 g·m-3 and liquid phase back wash filter cake stripping method is employed.
Key words:  metal sintered filter element    chlorosilane    filter    polysilicon
收稿日期:  2020-09-24      修回日期:  2021-05-20          
ZTFLH:  TQ127.2  
通讯作者:  刘见华(1987-),男,硕士,高级工程师,研究方向为多晶硅等硅基材料的设计研发,通讯联系人,liujh@sinosico.com。    E-mail:  liujh@sinosico.com
引用本文:    
刘见华, 万烨, 赵雄, 赵宇, 周勇毅, 严大洲. 金属烧结滤芯用于多晶硅氯硅烷净化放大研究[J]. 现代化工, 2021, 41(7): 231-233.
LIU Jian-hua, WAN Ye, ZHAO Xiong, ZHAO Yu, ZHOU Yong-yi, YAN Da-zhou. Pilot study on metal sintered filter element for purifying chlorosilane in polysilicon production. Modern Chemical Industry, 2021, 41(7): 231-233.
链接本文:  
https://www.xdhg.com.cn/CN/10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2021.07.047  或          https://www.xdhg.com.cn/CN/Y2021/V41/I7/231
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