硅铝酸盐分子筛对HCl电子气体的深度除水性能研究

叶向荣, 张广第, 叶素芳, 夏添, 周井森, 张云峰, 廖进, 刘俊明

现代化工 ›› 2021, Vol. 41 ›› Issue (1) : 103-107,112.

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现代化工 ›› 2021, Vol. 41 ›› Issue (1) : 103-107,112. DOI: 10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2021.01.021
科研与开发

硅铝酸盐分子筛对HCl电子气体的深度除水性能研究

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Deep dehydration of electronic grade HCl gas by aluminosilicate molecular sieves

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