多晶硅尾气吸附塔再生气回收工艺的节能优化及流程模拟

doi:10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2019.S.044

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现代化工 ›› 2019, Vol. 39 ›› Issue (S1) : 192-194. DOI: 10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2019.S.044

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多晶硅尾气吸附塔再生气回收工艺的节能优化及流程模拟

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Energy-saving optimization and process simulation for regenerated-gas recovery process in tail gas recovery tower of polysilicon production

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收稿日期	修回日期	出版日期
2019-06-13	2019-07-16	2019-10-31
发布日期
2019-10-25

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