三氯氢硅节能精馏工艺模拟研究

韩金豆, 梁世民

现代化工 ›› 2019, Vol. 39 ›› Issue (7) : 207-210.

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现代化工 ›› 2019, Vol. 39 ›› Issue (7) : 207-210. DOI: 10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2019.07.044
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三氯氢硅节能精馏工艺模拟研究

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Simulation on energy-saving distillation technology of trichlorosilane

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