多晶硅产品中碳质量分数的影响因素及控制措施

曹玲玲, 蔡延国, 宗冰, 魏东亮, 吴巧芸, 曹岩德, 安军林, 马婷, 王体虎

现代化工 ›› 2019, Vol. 39 ›› Issue (7) : 183-184,186.

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现代化工 ›› 2019, Vol. 39 ›› Issue (7) : 183-184,186. DOI: 10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2019.07.038
工艺与设备

多晶硅产品中碳质量分数的影响因素及控制措施

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Influencing factors and control measures of carbon content in polysilicon products

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