三氯氢硅歧化反应动力学及反应精馏制备硅烷研究

黄友光, 宋超, 张卿城

现代化工 ›› 2018, Vol. 38 ›› Issue (11) : 196-199.

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现代化工 ›› 2018, Vol. 38 ›› Issue (11) : 196-199. DOI: 10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2018.11.043
工艺与设备

三氯氢硅歧化反应动力学及反应精馏制备硅烷研究

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Kinetics for disproportionation reaction of trichlorosilane and preparation of silane by reactive distillation

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