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现代化工  2018, Vol. 38 Issue (11): 1-7    DOI: 10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2018.11.001
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中国集成电路用化学品发展现状
王海霞1, 冯应国2, 仲伟科1
1. 中国化工经济技术发展中心, 北京 100723;
2. 山西省煤化工发展促进中心, 山西 太原 030001
China's development status of chemicals for integrated circuit
WANG Hai-xia1, FENG Ying-guo2, ZHONG Wei-ke1
1. China National Chemical Economic and Technical Development Center, Beijing 100723, China;
2. Shanxi Provincial Development and Promotion Center of Coal Chemical Industry, Taiyuan 030001, China
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摘要 从硅片、制程化学品两个大方面综合分析了国内外集成电路用材料的总体供求状况。在制程化学品方面,按超净高纯特种气体、光刻胶、湿电子化学品、CMP抛光材料四大部分,介绍了国际主要生产商、国内生产商及新建项目、市场消费情况,并对未来市场发展进行了预测。
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王海霞
冯应国
仲伟科
关键词:  集成电路  光刻胶  特种气体  超净高纯试剂  化学机械抛光  硅片    
Abstract: This paper summaries and analyzes the overall supply and demand situation of materials for integrated circuit in China and in the world from two aspects such as silicon chip and process chemicals.Among process chemicals,four fields including ultra-clean high-purity specialty gases,photoresistor,wet electronic chemicals and CMP materials are reviewed from aspects of global main manufacturers,China's existing makers and new projects and market consumption situation.The future market development trends are predicted,and measurements and suggestions for China to develop chemicals and materials for integrated circuit are also given.
Key words:  integrated circuit    photoresistor    specialty gases    ultra-clean and high-purity reagents    chemical mechanical polishing    silicon chip
收稿日期:  2018-08-14      修回日期:  2018-09-18          
TQ-9  
通讯作者:  仲伟科(1964-),男,硕士,高级工程师,研究方向为化工产品市场,通讯联系人,010-84885022,zhongzeyang@126.com。    E-mail:  zhongzeyang@126.com
作者简介:  王海霞(1981-),女,博士,工程师,研究方向为石化化工市场,010-64697940,hjwanghx@163.com
引用本文:    
王海霞, 冯应国, 仲伟科. 中国集成电路用化学品发展现状[J]. 现代化工, 2018, 38(11): 1-7.
WANG Hai-xia, FENG Ying-guo, ZHONG Wei-ke. China's development status of chemicals for integrated circuit. Modern Chemical Industry, 2018, 38(11): 1-7.
链接本文:  
http://www.xdhg.com.cn/CN/10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2018.11.001  或          http://www.xdhg.com.cn/CN/Y2018/V38/I11/1
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