改良西门子法制备多晶硅还原过程研究进展

李亚广, 聂陟枫, 周扬民, 方文宝, 谢刚, 侯彦青

现代化工 ›› 2018, Vol. 38 ›› Issue (5) : 38-42.

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现代化工 ›› 2018, Vol. 38 ›› Issue (5) : 38-42. DOI: 10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2018.05.009
技术进展

改良西门子法制备多晶硅还原过程研究进展

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Research progress in reduction process of polysilicon production by modified Siemens method

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