光纤原料四氯化硅精制工艺研究进展

徐昊旻, 黄国强

现代化工 ›› 2015, Vol. 35 ›› Issue (7) : 27 -31.

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现代化工 ›› 2015, Vol. 35 ›› Issue (7) : 27-31. DOI:
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光纤原料四氯化硅精制工艺研究进展

    徐昊旻, 黄国强
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摘要

介绍了SiCl4提纯精制的各种先进方法,主要有物理方法和化学方法2类,包括精馏法、吸附法、部分水解法、光化反应法、低温等离子反应法等。考察了各种工艺的优缺点,展望了未来SiCl4提纯精制工艺的前景。

关键词

光纤 / 提纯 / 含氢杂质 / 金属杂质 / SiCl4

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光纤原料四氯化硅精制工艺研究进展[J]. , 2015, 35(7): 27-31 DOI:

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