现代化工

现代化工 ›› 2015, Vol. 35 ›› Issue (5) : 25-29. DOI:

技术进展

多晶硅薄膜材料制备技术研究进展

李嘉,焦玉娟,周正扬,高肖汉,吕雪川,范志平

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阐述了多种多晶硅薄膜的制备方法和相关工艺技术，介绍了各种工艺条件对多晶硅薄膜材料的结构和性能等的影响，并比较了多种制备方法优点与不足，并对今后发展趋势和前景做出展望。

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多晶硅薄膜材料制备技术研究进展[J]. 现代化工, 2015, 35(5): 25-29 DOI:

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