现代化工

现代化工 ›› 2015, Vol. 35 ›› Issue (3) : 169-170,172. DOI:

分析测试

多晶硅还原炉硅棒直径检测及生长过程研究

姜海明, 曹忠, 刘淑萍

作者信息 +

Author information +

文章历史 +

PDF (1737K)

还原炉是多晶硅生产的核心设备，在还原炉的运行控制中，硅棒直径是反应沉积效果的重要参数。笔者设计了一种硅棒直径检测方法，通过试用获得还原炉运行中硅棒直径检测数据，并综合各控制参数进行多晶硅棒生长过程的研究，其结论能够为还原炉运行优化提供参考依据。

引用格式 ▾

多晶硅还原炉硅棒直径检测及生长过程研究[J]. 现代化工, 2015, 35(3): 169-170,172 DOI:

登录浏览全文

4963

原文顺序 | 出版日期 | 本文引用

PDF (1697KB)

182

访问

被引

导航