现代化工

现代化工 ›› 2016, Vol. 36 ›› Issue (12) : 121-123. DOI:

工艺与设备

多晶硅生产中废气处理工艺改造

胡小冬，王丽，张东，贾曦，王恒孝

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Received
2016-05-10
Issue Date	Revised Date
2016-12-15	2016-05-10

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摘要

针对多晶硅生产中废气处理工艺存在的问题其进行改造，改造后废气中约有92.1%的氯硅烷被回收利用，碱液的月平均消耗量减少约500 t；放空气体中有毒有害成分的质量分数由17.6%降至0.08%；着火和爆炸事故等安全问题已彻底消除，生产系统的稳定性得到改善，多晶硅的月均产量和产品合格率分别提高约13.8%和4.7%。