现代化工

现代化工 ›› 2016, Vol. 36 ›› Issue (8) : 174-177. DOI:

工艺与设备

多晶硅生产SiHCl3精馏工艺改造

胡小冬, 贾曦, 张东, 黎展荣, 蒲晓东

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Received
2015-12-28
Issue Date	Revised Date
2016-08-15	2015-12-28

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摘要

针对多晶硅生产中SiHCl3精馏工艺存在的问题，对其进行改造。改造后，工艺流程简化，设备配套使用量大幅度减少；生产系统的安全性和稳定性有所改善，月均产量增加约11.1%；副产物SiH2Cl2得到有效利用，尾气的排放量得到控制，月均减少NaOH和CaO使用量约0.8t；精馏塔塔顶、塔釜可分别节能约25%、28.7%；精制SiHCl3产品和多晶硅产品的总合格率分别提高5.3%和5.9%。