现代化工

现代化工 ›› 2008, Vol. 28 ›› Issue (8) : 0-0.

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高纯六氟化钨的纯化工艺研究

柳彤，王少波，李绍波，王占卫

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摘要

采用吸附-精馏-鼓泡联用纯化系统对WF6进行纯化。通过吸附除去WF6中的氟化氢杂质；设计精馏塔进行精馏实验除去其他轻组分杂质，并同时进行鼓泡纯化。研究表明吸附法对于WF6中的HF有很好的去除效果，可将WF6中HF的体积分数降到1×10-6以下；精馏-鼓泡联用能将气相杂质的含量降到1×10-6以下，经此纯化操作可以得到纯度为99999%的WF6。将精馏-鼓泡应用于WF6的纯化有分离效果好、经济性好等优点，适用于工业化生产。中图分类号：TQ163.13 文献标识码：A 文章编号：0253-4320(2008)08-0069-04