现代化工

现代化工 ›› 2014, Vol. 34 ›› Issue (2) : 160-163. DOI:

信息技术应用

多晶硅还原炉底盘温度场均匀性分析

王晓静,崔萌,张芳

作者信息 +

Author information +

文章历史 +

PDF (1525K)

针对一种24对棒多晶硅还原炉底盘的冷却模式，应用Fluent对多晶硅还原炉底盘内流体进行模拟分析，得出底盘的上花板温度分布图，并引入平均算数温度和均匀系数的概念分析底盘温度场的均匀性。总结概括出温度场均匀性分布随冷却液进口流量的变化趋势，提出判别温度场均匀化的判据，提供合适的流量参考。

引用格式 ▾

多晶硅还原炉底盘温度场均匀性分析[J]. 现代化工, 2014, 34(2): 160-163 DOI:

登录浏览全文

4963

原文顺序 | 出版日期 | 本文引用

PDF (1490KB)

287

访问

被引

导航