现代化工

现代化工 ›› 2011, Vol. 31 ›› Issue (8) : 0-0.

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合成氯硅烷精馏工艺改造

王恒孝，胡小冬，黎展荣，唐猷成

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摘要

针对多晶硅生产中合成氯硅烷精馏工艺存在的问题，对其工艺进行了改造，采用Aspen Plus软件对改造后的工艺进行了模拟计算，并结合生产实际确定了较优的操作条件。与原工艺相比，工艺流程简单，设备数量减少，塔釜再沸器能耗减少23.56%，塔顶冷凝器能耗减少24.68%，合成精制三氯氢硅及多晶硅产品的合格率分别由改造前的92.1%和86.4%提高至97.5%和92.1%。中图分类号：TQ127.2 文献标识码：A 文章编号：0253-4320(2011)08-0071-03