现代化工

现代化工 ›› 2015, Vol. 35 ›› Issue (9) : 152-155. DOI:

工艺与设备

热能综合利用在改良西门子法多晶硅生产中的应用

李锋

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Received
2015-03-17
Issue Date	Revised Date
2015-09-15	2015-03-17

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摘要

精馏、还原、尾气回收这3个装置的蒸汽耗量占整个多晶硅生产过程中总耗的大约95%。为了降低多晶硅的综合能耗，通过对目前多晶硅企业的生产技术进行综合分析，结合实际运行经验，可通过热能综合利用方式对精馏、还原、尾气3个单元分别采取不同的工艺路线进行改造设计，采取更为有效地节能措施，降低多晶硅行业的综合能耗。