现代化工

现代化工 ›› 2004, Vol. 24 ›› Issue (4) : 0-0.

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三氟化氮纯化的新工艺

宋海华付曼高世选

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摘要

三氟化氮作为等离子蚀刻剂和化学气相沉积室的清洗气体，可根据粗三氟化氮气体中各组分的沸点及物理、化学性质的差异选择不同的纯化工艺及设备。研究了冷阱法、吸附法、改进的吸附法3种纯化工艺的优缺点，并提出了一种新的纯化工艺，即用碱液清除酸性杂质及用精馏的方法排除轻组分与残余重组分。实验结果表明，新的纯化工艺可获得三氟化氮体积分数大于99.9％的高纯度产品，从而能够满足半导体工业的要求。中图分类号：TQ028.3 文献标识码：A 文章编号：0253-4320(2004)04-0051-03