现代化工

现代化工 ›› 2016, Vol. 36 ›› Issue (12) : 183-185,187. DOI:

分析测试

基于微气相色谱技术的含硫恶臭气体检测

李俊成，张思祥，周围，王晓辰，李志东，周琪，郭兴，李帅甫

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Received
2016-05-26
Issue Date	Revised Date
2016-12-15	2016-05-26

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摘要

通过喷砂射流微细加工工艺与MEMS工艺，在Pyrex7740型硼硅玻璃表面进行刻蚀，得到400μm的微细通道，利用热压键合技术得到微型气相色谱柱。选择固定相CB-40(40%的苯基+60%的二甲基聚硅氧烷)对芯片内部进行涂敷，针对含硫的恶臭气体进行分离。并利用自制Tenax管式富集器对气体进行预浓缩，针对检测的含硫化合物与苯系物的恶臭气体提高了检测限。设计了自动进样系统与温度控制系统，并选取PID(Photoionization Detector)光离子化传感器作为终端传感器。选取典型的含硫恶臭物质与苯系物恶臭气体进行混合，实现了很好的分离，其中苯的检测限可以达到20×10-9，甲硫醚的检测限可以达到100×10-9。