建立了一套半工业性两塔真空变压吸附制氧试验装置，提出了2种循环操作时序，循环一的特征在于具有同时逆向抽真空与清洗、同时逆向抽真空与均压升2个重叠步骤；循环二具有同时逆向抽真空与清洗、同时进气升压与均压升2个重叠步骤。试验结果显示，采用13LiX沸石分子筛，2种循环流程获得体积分数为92.1%的氧气时，回收率分别达到58.9%和64.8%，氧气产率分别为80.9m3/(h·t)和86.3m3/(h·t)。在较低压比的情况下，2种不同循环流程均能获得较好的制氧性能，吸附塔的最高吸附绝对压力分别约为148kPa和149kPa，最高压比分别为3.44和3.39。中图分类号：TQ028.15 文献标识码：A 文章编号：0253-4320(2008)02-0062-04