三氯氢硅精馏工艺的模拟研究
张远弟,谢刚,侯彦青
现代化工 ›› 2015, Vol. 35 ›› Issue (1) : 166 -169.
多晶硅 / 三氯氢硅 / 精馏 / 模拟和优化
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