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新型涂敷材料Parylene AF4的研究进展 |
赵宗峰,鲜晓斌,唐贤臣,帅茂兵,吉祥波 |
(中国工程物理研究院,四川 绵阳621900) |
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摘要 Parylene AF4是一种新型的高分子敷型材料,除了拥有Parylene同系列产品的共同性能外,还具有更优异的抗紫外和抗老化性能。系统介绍了Parylene AF4环二体的合成方法、薄膜制备原理和性能参数,并对其研究的热点领域及应用前景进行了展望。中图分类号:TB383 文献标识码:A 文章编号:0253-4320(2008)06-0023-05
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关键词:
Parylene AF4
涂敷材料
化学气相沉积
沉积动力学
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