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多晶硅还原炉硅棒直径检测及生长过程研究 |
姜海明,曹忠,刘淑萍 |
(内蒙古神舟硅业有限责任公司,内蒙古 呼和浩特010070) |
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摘要 还原炉是多晶硅生产的核心设备,在还原炉的运行控制中,硅棒直径是反应沉积效果的重要参数。笔者设计了一种硅棒直径检测方法,通过试用获得还原炉运行中硅棒直径检测数据,并综合各控制参数进行多晶硅棒生长过程的研究,其结论能够为还原炉运行优化提供参考依据。
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关键词:
多晶硅
还原炉
硅棒直径
检测
生长过程
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收稿日期: 2014-09-24
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中图分类号:TQ127.2 文献标志码:A 文章编号:0253-4320(2015)03-0169-02
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