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现代化工  2015, Vol. 35 Issue (3): 169-170,172    
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多晶硅还原炉硅棒直径检测及生长过程研究
姜海明,曹忠,刘淑萍
(内蒙古神舟硅业有限责任公司,内蒙古 呼和浩特010070)
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摘要 还原炉是多晶硅生产的核心设备,在还原炉的运行控制中,硅棒直径是反应沉积效果的重要参数。笔者设计了一种硅棒直径检测方法,通过试用获得还原炉运行中硅棒直径检测数据,并综合各控制参数进行多晶硅棒生长过程的研究,其结论能够为还原炉运行优化提供参考依据。
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姜海明
曹忠
刘淑萍
关键词:  多晶硅  还原炉  硅棒直径  检测  生长过程    
收稿日期:  2014-09-24               
中图分类号:TQ127.2 文献标志码:A 文章编号:0253-4320(2015)03-0169-02  
引用本文:    
姜海明, 曹忠, 刘淑萍. 多晶硅还原炉硅棒直径检测及生长过程研究[J]. 现代化工, 2015, 35(3): 169-170,172.
链接本文:  
http://www.xdhg.com.cn/CN/  或          http://www.xdhg.com.cn/CN/Y2015/V35/I3/169
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